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    真空等離子清洗機

    80L真空等離子清洗機NE-PE80F

    • 產(chǎn)品型號：NE-PE80F
    • 性能特點(diǎn)：所有元器件及核心部件采用進(jìn)口配置
    • 產(chǎn)品用途：材料表面清洗活化刻蝕去膠
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    工業(yè)真空等離子清洗機由真空室、真空泵組、電源、供氣裝置及控制部分(包括真空控制、電源控制、溫度控制、氣體流量控制等)組成。等離子清洗機的清洗原理是射頻電源在一定的壓力情況下，起輝發(fā)射高能量的無(wú)序等離子體，這些等離子體中有大量激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，他們撞擊到被清洗基體表面，破環(huán)了材料表面原有的化學(xué)鍵，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結構，這樣不僅可以清除物品表面的污物和雜質(zhì)，還可以提高表面活性。
    等離子清洗機應用


    工業(yè)真空等離子清洗機產(chǎn)品特點(diǎn)：


    ♦所有元器件及核心部件采用進(jìn)口配置，保證了整機的穩定性和使用壽命。
    ♦真空泵采用進(jìn)口旋片泵，是適用于等離子工藝環(huán)境使用的可長(cháng)時(shí)間工作的體系，在抗氧化、耐腐等諸多方面積累了豐富的經(jīng)驗，使泵的壽命大大提高，并有效降低了泵 的維護成本，泵的各項保護措施完善，提高了長(cháng)時(shí)間工作極限，泵油為耐高溫、抗氧化油，泵具有可自行緩解溫度過(guò)高的 散熱體系，無(wú)需水冷。泵體內置于機柜內部，使機器緊湊，占地面積小。
    ♦控制方式:自動(dòng)控制系統采用PLC加觸摸屏控制，所有工藝參數、工藝過(guò)程實(shí)時(shí)監控，并顯示運行狀態(tài)、報警記錄和工藝 曲線(xiàn)記錄、工作時(shí)間記錄，適合維護，可以提供工藝參考。
    ♦電源功率、潔凈壓力、射頻功率、清洗時(shí)間、氣體流量、凈化真空度等參數可設置。 
    ♦可存儲100組工藝配方，隨意調用。 工藝參數受密碼保護，分級密碼管理查詢(xún)。
    ♦電極采用高通量等離子結構，牢固可靠易拆卸。
    ♦反應倉為矩形不銹鋼腔體，水平電極板放置，間距可調。
    ♦真空泵采用雙腔式旋片泵，及限真空度可達2Pa以下，一般采用外置。
    ♦一鍵完成全自動(dòng)工藝，實(shí)時(shí)故障報警、非法操作提示、清洗結束提示等。
    ♦自動(dòng)提醒系統堆護、更換真空泵油等，避免機器過(guò)載、過(guò)老化情形下工作，延長(cháng)使用壽命。
    ♦氣體質(zhì)量流量計用的是直聯(lián)式油旋片真空泵，由模擬量輸入輸出，量程為0-2000m可在量程范圍內無(wú)級調節、針閩等 控制工藝氣體流量。 
    ♦根據特殊的工藝要求可使用干泵，尾氣處理設備，油過(guò)濾器，過(guò)德返油裝置等。
    ♦電極結構(專(zhuān)利)的高等離子通量設計 能很好地提高等離子體的均勻性及穩定性。
     

    工業(yè)真空等離子清洗機常見(jiàn)應用：


    1、將PDMS腔室和玻璃基底同時(shí)放入等離子清洗機中改性，結束后快速將兩者鍵合。
    2、電路封裝過(guò)程中焊接產(chǎn)生的助焊劑等殘留物以及導電膠粘接膠液揮發(fā)積聚的薄膜有機物質(zhì)嚴重影響鍵合界面的清潔，不加以處理而直接鍵合，將造成虛焊、脫焊等問(wèn)題。等離子清洗是常用的清洗方式。
    3、等離子體清洗Ti/Mo襯底表面，以去除襯底表面的自然氧化層。
    4、利用等離子除膠可以達到常規清洗無(wú)法達到的效果,可應用在PCB制造過(guò)程中。
    5、ITO表面進(jìn)行等離子清洗可以除去表面有機雜質(zhì)，更重要的是清洗后不僅可以?xún)?yōu)化ITO的功函數和導電率，還能夠增加其與修飾層界面接觸，從而有利于電荷的傳輸。
     
    型號 真空等離子清洗機NE-PE80F
    等離子體發(fā)生器頻率 13.56MHz
    射頻電源功率 （0～600）W 可調
    工作真空度 30～150Pa
    反應倉工作溫度 30~60℃
    氣體流量 (0～200)ml/min
    控制方式 采用觸摸屏人機界面的PLC控制
    腔體材質(zhì) 不銹鋼/鋁合金
    輸入電壓 380×(1±10%)V(AC) 50Hz～60Hz 三相五線(xiàn)
    氣體通道 標準兩路，可增加，可通入氧氣氬氣氮氣等
    設備功率 ≤4kW
    外形尺寸 L1200×W1100×H1850（mm）
    反應倉尺寸 W450mm×H400mm×D470mm
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