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    石英腔體等離子清洗機NE-Q05

    • 產(chǎn)品型號:NE-Q05
    • 性能特點(diǎn):石英玻璃腔體,射頻電源發(fā)生器
    • 產(chǎn)品用途:PDMS鍵合芯片清洗
    • 產(chǎn)品介紹
    • 產(chǎn)品參數
    石英等離子清洗機
    石英等離子清洗機
    石英等離子清洗機
    等離子發(fā)生器 功率 0-200W
    頻率 13.56MHz
    特性阻抗 自動(dòng)匹配
    真空反應腔室 腔體材質(zhì) 石英玻璃
    腔體容積 5L
    腔體尺寸 直徑150mm×270mm
    真空度 1-30Pa
    氣路控制 氣體通道 兩路
    氣體流量控制器 浮子針閥流量控制器
    整機參數 重量 65KG
    外形尺寸 650mmx550x600mm

    小型石英等離子清洗機采用ICP電感耦合式等離子體發(fā)生結構,其主要結構主要包括控制單元、石英真空腔體、真空泵、氣體控制四部分。等離子清洗機的工作流程為:腔體抽真空—充入工藝氣體—電離工藝氣體并清洗—去除工件。清洗首先在真空腔體內單種或者多種清洗所需氣體,一般為Ar、O2、N2等,外加射頻功率利用電感線(xiàn)圈的電磁感應效應,在線(xiàn)圈內部感應磁場(chǎng), 帶電粒子在磁場(chǎng)作用下做回旋運動(dòng),在離子移動(dòng)過(guò)程中與氣體分子發(fā)生碰撞并電離,從而形成穩定的等離子體。等離子體高速撞擊材料表面,與被清洗表面污染物發(fā)生理化反應,實(shí)現材料的清洗,并利用氣流將污染物排出腔體。通過(guò)等離子清洗可以有效清除被清洗表面污染物、改善表面狀態(tài)、增加材料的粘附性能、提高材料表面的浸潤性能。

    小型石英等離子清洗機產(chǎn)品特點(diǎn):


    真空腔體材質(zhì)采用石英玻璃,不易與材料表面發(fā)生反應,污染清洗樣品
    等離子發(fā)生器采用13.56MHz射頻發(fā)生器,自動(dòng)阻抗匹配調諧
    觸摸屏用戶(hù)界面+PLC控制,可儲存多條工藝程序,全自動(dòng)運行
    配備兩路氣路通道,氣體流量可調,無(wú)需再搭配氣體混合儀

    ICP電感耦合等離子體發(fā)生方式,能產(chǎn)生高密度等離子體
    設備采用外電極結構,可徹底解決電容耦合式等離子清洗設備的極板濺射問(wèn)題


    小型石英等離子清洗機產(chǎn)品應用:


    增加石墨烯表面親水基團(-OH)等,提高潤濕性能
    金屬材料表面油污,氧化物等,等離子清洗去除,不損傷樣品
    PDMS等離子表面活化改性,提升親水性和鍵合強度
    塑料印刷和粘合時(shí)預處理, 等離子處理,可以大大地增加粘合潤濕面積
    等離子清洗技術(shù)在玻璃鍍膜前清洗表面污染物,同時(shí)也可以激活表面分子結構來(lái)實(shí)現后續涂層工藝更好的附著(zhù)性。
    在半導體制造業(yè)中,等離子清洗技術(shù)已經(jīng)成為不可或缺的手段,其主要作用是能夠有效提高半導體元器件在生產(chǎn)制造過(guò)程中表面的潔凈度,且活化表面,提高產(chǎn)品的可靠性。

    等離子清洗技術(shù)不可比擬的優(yōu)勢在于:一、綠色、環(huán)保、無(wú)污染。等離子清洗相當于氣相清洗,反應產(chǎn)物多為二氧化碳和水等,不生成對人體或者環(huán)境有害的廢氣或者廢液等;二、待清洗器件無(wú)論是何種材料都可以進(jìn)行清洗。如:金屬、木材、陶瓷、玻璃、塑料、橡膠等;三、清洗無(wú)障礙。無(wú)論待清洗器件表面多么崎嶇,器件構造多么復雜,都能進(jìn)行有效清洗;四、清洗能力強。
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