• 真空等離子清洗機與大氣等離子清洗機區別對比


     大氣等離子清洗機和真空等離子清洗機主要區別在于產(chǎn)生等離子體及維持條件的關(guān)鍵在于是否存在真空系統。從當前的實(shí)際情況看，大氣等離子體的實(shí)現條件簡(jiǎn)單，設備制造及維護成本都比真空等離子體低，且離子源具有可移動(dòng)性；無(wú)需真空系統意味著(zhù)等離子體材料加工便捷，被加工材料的尺寸不受真空腔室的限制，整個(gè)工藝流程實(shí)現了自動(dòng)化連續性生產(chǎn)，大大節約了時(shí)間成本，進(jìn)一步降低了等離子體材料的加工成本。

    大氣等離子清洗機與真空等離子清洗機的主要區別見(jiàn)表一

    設備類(lèi)型 真空等離子清洗機 大氣等離子清洗機
    外觀(guān) 等離子體在真空腔體內產(chǎn)生，需要使用真空泵維持特定真空度 等離子體產(chǎn)生后噴出，直徑與筆相當；可排成陣列或以馬達帶動(dòng)旋轉
    生產(chǎn)方式 批次式，亦可做成連續式 但成本大幅提高 連續式，通常與滑臺或機械手臂搭配使用
    使用氣體 任何氣體都可以 N2、O2、air 為主，可混入其他氣體，但需 注意廢氣處理問(wèn)題
    氣體用量 <1L/min 約 10-30L/min
    等離子體有效范圍 等離子體由電極產(chǎn)生，充滿(mǎn)整個(gè)腔體 等離子體在電極間產(chǎn)生后被氣流帶出，有效范圍 2~80mm
    靜電問(wèn)題 沒(méi)有靜電損傷問(wèn)題 噴嘴經(jīng)特殊設計后沒(méi)有靜電擊傷問(wèn)題
    適合材料 無(wú)限制 無(wú)限制
    工件尺寸 中小尺寸， 尺寸愈大，真空腔體就愈 大，設備造價(jià)將大幅提高 無(wú)限制
    時(shí)效性 與常壓相比時(shí)效性較長(cháng) 較真空時(shí)效短
    真空等離子清洗機與大氣等離子清洗機對比（表一）

    除了表一所列差異外，真空等離子清洗機由于密閉腔體容易控制氣氛，可以得到較純的等離子體。且因為壓力低，等離子體可以擴散的距離較遠，等離子體因碰撞所損失的能量也較小，因此真空等離子清洗機有較好的處理效率；由于壓力夠低，sputter效應也有助于提高清潔速度，甚至可以去除無(wú)機污染物。密閉的環(huán)境及所需氣體用量少，因此可以使用特殊氣體、增加制程彈性及更廣的應用范圍。因此對于產(chǎn)品品質(zhì)要求較高、需要使用特殊氣體、產(chǎn)品單價(jià)較高、產(chǎn)品形狀較復雜(3D)、或產(chǎn)量較小的工件，建議采用真空等離子清洗機。

    大氣等離子清洗機相較于真空等離子清洗機：(1)等離子體范圍較集中于電極，(2)加上大氣壓下因為碰撞較頻繁，有相當大比例的等離子體能量轉換成熱，需要使用較大量的氣體冷卻電極，并提高通過(guò)電極的等離子體流速，將等離子體中活性物質(zhì)快速帶到被處理物表面，因此大氣等離子體一般都使用較便宜的氣體如乾淨空氣(CDA)或氮氣(N2)。由于大氣等離子清洗機沒(méi)有真空腔體的限制且等離子噴頭占地面積小，容易與自動(dòng)化產(chǎn)線(xiàn)結合成In-line方式，大量處理工件，省下可觀(guān)的人力費用，更能節省因為搬運工作衍生破片造成的良率問(wèn)題。對于產(chǎn)量大、需要in-line處理、平面型工件及面積較大的工件建議采用大氣等離子清洗機。

    除了以上區別，真空等離子清洗機由于可以通入更多反應氣體，工藝參數可控范圍大，所以真空等離子清洗機應用范圍較大氣等離子清洗機更廣。
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